PTH沉铜工艺
时间:2010-03-22 10:48:01点击:次
第一节 双面板PTH工艺
一、目的:本指导书第一节规定PTH工位双面板的工作内容及步骤。
二、范围:本指导书第一节内容适用于PTH工位双面板的操作过程。
设备：
奥图全自动PTH生产线，包括前处理、化学沉铜两部分。
生产能力：
---挂篮最大生产板尺寸607mm×546mm
---每小时最多能生产5.7只挂篮×3.98m2=22.69m2
程序:01上料→21去油→20热水洗→19水洗→18微蚀→17水洗 →16水洗 →15预浸→14活化→13水洗 →12水洗→11促化→10水洗→09热水洗→（05～08）沉铜→04水洗→03水洗→02水洗→01下料
材料:
4.1钻孔及去毛刺后的双面板和后板
4.2 工艺材料
4.2.1 去离子水（电导率<10цs/cm PH:5.5～8）
4.2.2 硫酸（化学纯） H2SO4（C.P）
4.2.3 去油剂 METEX PTH CLEANER 9267 （19267）
4.2.4 去油活化剂 METEX XD－6190－T （79203）
4.2.5 微蚀溶液 METEX G－5B MICROETCH
4.2.6 微蚀稳定液 METEX G－5S ROBUSTNESS
4.2.7 预浸溶液 METEX PREDIP L （79236）
4.2.8 预浸粉末添加剂 METEX PREDIP P （79235）0
4.2.9 活化剂 METEX ACT1VATOR A （79237）
4.2.10 促化剂 METEX ACCELERATOR A （79240）
4.2.11 促化添加剂 METEX ACCELERATOR B （79241）
4.2.12 化学沉铜:
① M－COPPER 85A
② M－COPPER 85B
③ M－COPPER 85C
④ M－COPPER 85D
⑤ M－COPPER 85G
⑥甲醛 HCHO （C.P） 37％
五、 工艺
5.1 溶液配制与控制（按工艺顺序排列）:
---槽21 去油
配制容积：251L
注入50％槽体积去离子水
加入15Kg METEX CLEANER 9267 （19267）搅拌
加入5L METEX XD－6190－T （79203）并搅拌
用去离子水注满至所需液位，充分搅拌、加热
工作温度： 55～65℃
时间： 4.5～6分钟
分析:每周二、五进行分析
9267浓度 45～65g/L
XD－6190－T 3～5％
每生产50m2板子加料一次，450g。
XD－6190－T 150ml
铜含量大于300ppm换缸。
---热水洗
容积 251 L
工作温度 35－45℃
时间 2－3分钟
每天更换一次
---微蚀
配制容积： 251 L
注入50％槽体积的去离子水
加入G－5B 7.5 L
缓缓加入20L硫酸H2SO4 并搅拌
待溶液温度至工作温度时，加入G－5S 7.5L
用去离子水注满至液位，充分搅拌、加热。
工作温度： 30～45℃
时间： 1.5～2.5分钟
分析：每天分析一次
G－5B浓度 2～4％
H2SO4浓度 7～9％
（每添加硫酸应相应添加G－5S，添加量为硫酸量的1/3，铜含量<60g/L，每生产50m2板添加一次）
G－5B 500 ml
G－5S 500 ml
H2SO4 1500 ml
---15预浸
配制容积： 251 L
注入50％槽体积的去离子水
加入50Kg M－PREDIP P （79235） 并充分搅拌
用去离子水注满至液位、搅拌
工作温度： 室温
时 间： 1～2分钟
分析：每周二、五进行分析
Cl-当量浓量2－4 N
每生产50m2板加料一次
加M－PREDIP P 1500g
当铜含量超过300PPm时更换溶液
---14活化
配制容积 251 L
注入槽体积50％的去离子水
加入50Kg M－PREDIP P （79235）搅拌
用去离子水注满至液位并搅拌
加入2.5L M－ACTIVATOR A 充分搅拌
注：每添加完一种溶液后搅拌几分钟
溶液配制完后禁止水进入溶液中，如液面降低
可用预浸（15）槽中溶液添加
工作温度： 25～35℃
时 间： 5.5～6.5分钟
分析：每周二、五进行分析
Cl-当量浓度 2～4 N
M-ACTIVATOR A 0.8～1.2%
SnCl2浓度 >3.8 g/L
每生产50m2板加料一次
加M－ACTIVATOR A 150ml
当铜含量超过 1000PPm更换溶液
---11促化
配制溶液 251 L
注入50％槽体积的去离子水
加入2.5Kg M－ACCELERATOR A 搅拌
加入2.5Kg M－ACCELERATOR B 搅拌
注入去离子水至液面并充分搅拌
工作温度： 45～55℃
时 间： 2～3分钟
分析：每周二、五进行分析
M－ACCELERATOR B 浓度 0.8～1.2%
每生产50m2板加料一次
M－ACCELERATOR A 60 g
M－ACCELERATOR B 60 ml
铜含量大于300ppm换缸。
---09热水洗
容积 251 L
工作温度： 25～35℃
时 间 1～2分钟
每天更换一次
---槽05－06或07－08化学沉铜
配制容积 450 L
注入50％槽体积的去离子水
加入45L M－85B 搅拌
加入18L M－85A 搅拌
加入13.5L M-85-D搅拌
加入0.9L M-85G搅拌
加入2.25L 甲醛搅拌
注入去离子水至液面，并充分搅拌
工作温度 35－50℃
时间 16－18分钟
分析：每天分析一次
Cu浓度 1.8－2.2g/L
NaOH浓度 8－10g/L
HCHO浓度 3.5－4.5g/L
E.D.T.A浓度 0.11－0.15M
加料：（以最小单位升计算）
Cu: V(85A)＝（2－XCu）×9
NaOH :V(85C)＝（9－XNaOH）×3.33×0.45 (不添加Cu)
V(85C)＝[9－XNaOH＋(2－XCu)×0.4]×3.33×0.45 (添加Cu)
HCHO ：V（HCHO）＝（4－XHCHO）×2.5×0.45(不添加Cu)
V(HCHO)=[4-XHCHO-(2-Xcu)]×2.5×0.45 (添加Cu)
每槽必须连续不断的空气搅拌
每周周未必须保持空气搅拌
每周一更换化学沉铜槽05－06或07－08
用清洗液清洗旧槽
注：清洗液为10L G5B＋25L H2SO4溶液
生产时，要开启自动添加装置，并核对显示值与分析结果一致，如有偏差应及时校正。
正式生产板进缸前，需先进三缸拖缸板，以激发沉铜液之活性，连续两缸生产板的面积应保持4.5m2以上，以保持沉铜液之活性，每天工作结束后，添加85G 150ml
5.2 参数输入
参数选用
A程序 多层板程序选用05＃－06＃沉铜缸
B程序 多层板程序选用07＃－08＃沉铜缸
C程序 双面板程序选用05＃－06＃沉铜缸
D程序 双面板程序选用07＃－08＃沉铜缸
操作规范：
6.1生产前检查：
6.1.1检查各槽液位是否正常；
6.1.2检查各槽温度是否在工艺范围中（用温度计）与控制在面板的显示温度是否相符；
6.1.3检查各槽循环泵工作是否正常；
6.1.4检查各槽的空气搅拌、震动、摇摆是否正常；
6.1.5检查各水洗槽的进水阀是否开启；
6.1.6检查自动添加槽中溶液是否足够；
6.1.7检查行车和阴极杠是否到位。
6.2生产中
6.2.1装板时必须戴干净的棉布手套，握板时提在板的边缘；
6.2.2每小时巡线一次，检查各槽液位、温度、循环泵、空气搅拌、水洗溢流等状况是否正常；
6.2.3严格按照工艺规定添加溶液，并作好记录（注：添加液体必须使用量杯，添加固体药品必须使用秤称重）
6.2.4卸板时戴干净塑胶耐酸手套，轻拿轻放，防止划伤板面，板子置于0.7%--1%稀硫酸溶液中；
6.2.5如遇意外情况，请及时通知相关人员解决。
6.3生产后：
6.3.1认真填写各项质量记录表单；
6.3.2关闭各槽相应的温度、循环泵、进水阀等开关；
6.3.3做好场地和设备的清洁；
6.3.4检查水、电、气等是否关闭。
七、自检
----板子必须是良好无缺，没有损坏。
----板子表面清洁，没有油污，手指印,无氧化。
----所有孔内及板面呈粉红色，无发黑和空洞。
----检查首批出缸产品,背光级数要求8级以上。
八、安全
---添加化学药品时应按防护规定，穿防护工作服，戴眼镜、手套、必须小心谨慎；
---检查水电等开关,关闭去离子水开关；
---电镀车间禁止吸烟、喝水、进食；
---工作结束必须洗手；
---如溶液触及皮肤或眼睛应立即用自来水冲洗数分钟，严重立即去医院就医。
九、质量记录：<施工票>、<印制板报废单>、<返工单>、
、<电镀线操作工每周维护保养记录>、
第二节 多层板PTH工艺
一.目的：本指导书规定PTH工位多层板的工作内容及步骤。
二.范围:本指导书适用于PTH工位多层板的工作过程。
三.设备：
奥图全自动PTH生产线，包括前处理、化学沉铜两部分。
1.生产能力：
---挂篮最大生产板尺寸607mm×546mm
---每小时最多能生产5.7只挂篮×3.98m2=22.69m2
2.程序：
01上料→25膨胀→26热水洗→27水洗→31去钻污→30热水洗→29水洗→28水洗→24中和→23水洗→22水洗→21去油→20热水洗→19水洗→18微蚀→17水洗 →16水洗 →15预浸→14活化→13水洗 →12水洗→11促化→10水洗→09热水洗→（05～08）沉铜→04水洗→03水洗→02水洗→01下料 材料
4.1生产材料：
钻孔及去毛刺后的多层板
4.2 工艺材料
4.2.1 钻污膨胀剂 METEX TREAE AQ （79220）
4.2.2高锰酸钾去钻污剂 METEX PERMANGANATE P （79223）
4.2.3 钻污预氧化剂 METEX 29224
4.2.4还原剂 METEX NEOTRALIZE （79225）
4.2.5硫酸 （化学纯） H2SO4 （C.P）
工艺
5.1 溶液配制与控制（按工艺顺序排列）
--槽25 膨胀
配制容积 251L
注入50％槽体积去离子水
加入50L METEX TREAT AQ 搅拌
加入10L METEX 79224 搅拌
注入去离子水至液面，充分搅拌
工作温度 65－75℃
时间 6－7分钟
分析： 每次生产前分析
M－TREAT AQ浓度 18％－22％
M－79224 浓度 3－5％
每三个月更换一次溶液
--槽26热水洗
容积 ： 251L
工作温度： 55－65℃
时间： 2－3分钟
每天更换一次
－－槽31去除钻污
配制容积301L
注入50％槽体积去离子水
加入18L METEX 79224 搅拌
加入18KG METEX 79223 边加边搅拌
注入去离子水至液面，充分搅拌至全部溶解
工作温度： 75－85℃
时间： 8－9分钟
分析： 每次生产前分析
KMnO4浓度： 50－70g/L
M－79224浓度 5－7％
副产品（BYPRODVCTS）<20g/L
固体含量大于25g％更换更次溶液
每一个月用中和槽溶液清洗再生器一次（不允许在中和槽中浸洗）在溶液加热中必须打开再生电流，再生电压设定250V。
--槽30热水洗
容积： 251L
工作温度： 55－65℃
时间： 2－3分钟
每天更换一次
－－槽24中和
配制容积 251L
注入5％槽体积的去离子水
加入22.5L H2SO4(C.P)搅拌
加入25L METEX NEVTRALIZE 搅拌
注入去离子水至液面 搅拌
工作温度： 40－50℃
时间： 4－6分钟
分析：每次生产前分析
H2SO4浓度： 8－10％
M－NEUTRALIZE 浓度： 9－11％
每三个月更换一次溶液
以下按双面板PTH程序
操作规范
6.1生产前检查
6.1.1检查各槽液位是否正常；
6.1.2检查各槽温度是否在工艺范围中（用温度计）与控制在面板的显示温度是否相符；
6.1.3检查各槽循环泵工作是否正常；
6.1.4检查各槽的空气搅拌、震动、摇摆是否正常；
6.1.5检查各水洗槽的进水阀是否开启；
6.1.6检查自动添加槽中溶液是否足够；
6.1.7检查行车和阴极杠是否到位。
6.2生产中
6.2.1装板时必须戴干净的棉布手套，握板时提在板的边缘；
6.2.2每小时巡线一次，检查各槽液位、温度、循环泵、空气搅拌、水洗溢流等状况是否正常；
6.2.3严格按照工艺规定添加溶液，并作好记录（注：添加液体必须使用量杯，添加固体药品必须使用秤称重）
6.2.4卸板时戴干净塑胶耐酸手套，轻拿轻放，防止划伤板面，板子置于0.7%--1%稀硫酸溶液中；
6.2.5如遇意外情况，请及时通知相关人员解决。
6.3生产后
6.3.1认真填写各项质量记录表单；
6.3.2关闭各槽相应的温度、循环泵、进水阀等开关；
6.3.3做好场地和设备的清洁；
6.3.4检查水、电、气等是否关闭。
七、自检
----板子必须是良好无缺，没有损坏。
----板子表面清洁，没有油污，手指印,无氧化。
----所有孔内及板面呈粉红色，无发黑和空洞。
----检查首批出缸产品,背光级数要求8级以上。
八、 安全
---添加化学药品时应按防护规定，穿防护工作服，戴眼镜、手套、必须小心谨慎；
---检查水电等开关,关闭去离子水开关；
---电镀车间禁止吸烟、喝水、进食；
---工作结束必须洗手；
---如溶液触及皮肤或眼睛应立即用自来水冲洗数分钟，严重立即去医院就医。
九、质量记录：〈Analysis of PTH〉、〈PTH加料记录〉、<施工票>、<印制板报废单>、<返工单>、
、<电镀线操作工每周维护保养记录>
