高精密三坐标测量仪（CMM）介绍

高精密三坐标测量仪，可以对产品进行全尺寸精确测量，同时还可以为客户提供溅射靶材使用后的寿命分析（Erosion）。该测量机的温度要求：18～22°C，湿度要求：25-75％，气源要求：0.5MPa，电源要求：220V ± 10%，频率：50/60 Hz，电流：15A。三坐标检测仪的主要技术指标及特点还有：

①X向横梁采用超高刚性精密三角梁(Tricision ®)技术，通过减轻运动负荷从而提高了整机的性能，是保证稳定性和刚性的结构设计；

②标配机器与工件的线性温度补偿技术；

③Y轴采用整体燕尾型导轨，提高了测量机的精度和重复性；

④三轴均采用同步带驱动，结构紧凑、不打滑、速度快、噪音低、易维护；

⑤Z轴采用可调气动平衡，运动平稳；并可在紧急情况下自动制动，保证安全；

⑥三轴均采用德国海德汉镀金光栅尺，其热膨胀系数的准确度及均匀性经德国国家标准局(PTB)认证，确保准确稳定的温度补偿；

⑦配备全球一流的坐标测量软件，可满足各种测量需求。

 

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