双束聚焦离子束扫描电镜 LYRA研发

PCB抄板是反向技术研发一个重要的应用领域。利用PCB抄板对产品进行拆解，从产品的pcb文件、BOM清单、原理图等设计要素入手进行研究，从而达到对引进技术进行消化、吸收和再创新的目的。迄今为止，PCB抄板已经形成一个较为成熟的行业，市场布局也从先前的克隆与复制逐渐向技术改造更新和高端化方向发展。
 

产品介绍：
基于高分辨率肖特基FEG-SEM镜筒和高性能聚焦离子束镜筒，LYRA3 FIB-SEM是一款SEM与FIB良好结合的一体化系统，能够满足高要求客户的需要。

新一代场发射扫描电子显微镜（LYRA3）给用户带来了新的技术优点，包括改进的高性能电子设备使成像速度更快，包含了静态和动态图像扭曲补偿技术的超快扫描系统，内置的编程软件等，都使LYRA3保持着很高的性价比。

LYRA3系列的设计适用于各种各样的SEM应用及当今研究和工业的需求。大电子束流下的高分辨率有利于EDX、WDX、EBSD、3维断层扫描等分析应用。借助于高性能软件，TESCAN的FIB-SEM已成为适合电子束/离子束光刻、TEM样品制备等应用的强大工具。LYRA3聚焦离子束扫描电子显微镜配备了XM与GM两种样品室。
 

现代电子光路

· 独特的大视野光路设计提供各种工作与显示模式

· 以电磁的方式改变物镜光阑——中间镜的作用如同“光阑转换器”

· 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing™），可模拟和优化电子束

· 全自动镜筒设置与对中

· 成像速度很快

· 3维电子束技术提供实时立体图像

· 可选的电子束遮没装置提供了电子束光刻技术

高性能离子光路

· 高性能CANION FIB设备提供既快又切片与TEM样品制备技术

· 可选的高分辨率COBRA-FIB离子束设备在成像与铣削过程中依然保持很高的分辨率

聚焦离子束装置

· 装有两套差异泵的独特离子束装置使离子散射效应较更低

· 马达驱动高重复性光阑转换器

· 电子束遮没装置与法拉第筒作为标配

· 同时可以进行离子刻蚀/沉积与SEM成像

· FIB的操作软件集成在SEM软件

· 软件工具栏包括了基本形状与可编程的参数

· 微/纳米加工

· 离子束光刻

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